揭秘靶材精加工：金剛石工具如何“點(diǎn)石成金”
發(fā)布時(shí)間：2026-01-28 信息來源： 點(diǎn)擊量：22

 在半導(dǎo)體、顯示面板、精密光學(xué)等尖端產(chǎn)業(yè)，高純靶材的性能直接決定了最終產(chǎn)品的成敗。無論是陶瓷的硬脆，還是超硬金屬的堅(jiān)韌，其加工過程都充滿挑戰(zhàn)。而金剛石-----自然界中最硬的材料，憑借其卓越的物理特性，已成為攻克這些特種靶材加工難題的“終極利器”。


一、金剛石工具：為何是不可替代的選擇？
金剛石工具的核心優(yōu)勢(shì)在于其超高的硬度和優(yōu)異的耐磨性。對(duì)于莫氏硬度高于的靶材材料，傳統(tǒng)磨料（如碳化硅、剛玉）加工效率極低且損耗快，唯有金剛石能以“以硬克硬”的方式，實(shí)現(xiàn)高效、精密的成型與拋光。其帶來的直接價(jià)值是：
卓越的尺寸精度：確保靶材的平面度、平行度及輪廓精度。
無與倫比的表面質(zhì)量：獲得納米級(jí)光潔度，減少濺射過程中的顆粒產(chǎn)生。
極高的加工效率：磨削比高，工具壽命長(zhǎng)，綜合成本效益顯著。


二、哪些靶材更需要金剛石工具的“精雕細(xì)琢”？
1.陶瓷靶材：這是金剛石工具應(yīng)用最廣泛的領(lǐng)域。
氧化物陶瓷：如ITO（氧化銦錫）、IGZO、氧化鋁、氧化硅、氧化鈦、氧化鋯等。它們普遍硬度高、脆性大、在平面磨削、管靶內(nèi)外圓加工及最終拋光中，金剛石砂輪、砂帶及研磨膏是保證良率的關(guān)鍵。
非氧化物陶瓷：如氮化硅、氮化鋁、碳化硅、碳化鎢等“超硬材質(zhì)”材料。其加工幾乎完全依賴金剛石工具，從切割成型刀精密磨削，別無他選。
2.超硬及難熔金屬靶材：
鎢、鉬、鉭、鈮及其合金。這些材料硬度高、韌性大，對(duì)加工工具的耐熱和耐磨提出嚴(yán)苛要求。金剛石工具，尤其是專用配方的金剛石砂輪，能夠?qū)崿F(xiàn)高效、光潔的加工，避免材料粘刀和表面燒傷。
3.高需求的功能金屬靶材：
貴金屬靶材：如金、銀、鉑、釕等。盡管它們較軟，但對(duì)最終表面光潔度要求極高（需達(dá)到鏡面以提升膜層質(zhì)量）。金剛石研磨膏/液是獲得無劃痕、超高反射率表面的理想選擇。
高純硅、鍺靶：用于半導(dǎo)體及紅外光學(xué)。金剛石線鋸是其精密切割的首選，金剛石研磨膏則用于實(shí)現(xiàn)超光滑、無損傷的亞表面拋光。

 

三、從車間到機(jī)臺(tái)：金剛石工具的全程賦能
前端精密制造：在靶材生產(chǎn)車間，金剛石樹脂/金屬結(jié)合劑砂輪用于粗精磨成型；金剛石砂帶進(jìn)行大面積均勻精磨；金剛石研磨膏/液完成最終的鏡面拋光。
后端在線維護(hù)：在客戶的鍍膜車間，正如我們客戶驗(yàn)證的那樣-----金剛石手擦塊（如200目）因耐用、高效、好用備受好評(píng)。它用于安裝前后及定期維護(hù)中，快速清除靶材表面氧化層和污染物，恢復(fù)濺射性能，是保障連續(xù)生產(chǎn)、降本增效的必備神器。


四、我們的價(jià)值：為每一種“硬骨頭”提供定制方案
南京奈研深耕精密研磨技術(shù)十余年，專注于根據(jù)工件材質(zhì)特性與加工需求，提供定制化的研磨方案。我們不僅推薦最適合的研磨耗材組合，更致力于通過專業(yè)的技術(shù)服務(wù)提升您的工藝穩(wěn)定性，實(shí)現(xiàn)加工質(zhì)量與成本效益的最佳平衡.